真空熱處理爐的真空系統(tǒng)的三個基本要求：

    1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規(guī)定的要求。

    2)能及時排出被處理工件和爐內(nèi)構(gòu)件所釋放出的各種氣體，以及因真空泄漏而滲入爐體內(nèi)的氣體。

    3)真空機組占地面積小，運行安全可靠，操作簡便。

    真空系統(tǒng)的組成

    真空熱處理爐的真空系統(tǒng)通常由真空獲得設備(真空泵機組)、控制真空組件和測量真空組件所組成。

    1)真空泵機組。根據(jù)爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。

    2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機組之間配備的各種真空組件或真字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和閥門等。

    3)真空測量系統(tǒng)，如真空規(guī)管、真空壓力表和其他真空測量儀表。

    4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。

    真空爐品種多，對真空系統(tǒng)的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。下面介紹幾種常用的真空系統(tǒng)。

    1．低真空系統(tǒng)   

    低真空系統(tǒng)適用于真空度在2～1333Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉(zhuǎn)機械泵為主泵。

    2．中真空系統(tǒng)

    中真空系統(tǒng)適用于真空度在3 X10～～1．333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常由兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵

    3．高真空系統(tǒng)

    高真空系統(tǒng)適用于真空度在6．6×10～～1．333 X 10。Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵。